申城微电子的领队是公司老总张总笑呵呵的说道。
彭康好奇的看着他们:“诸位此次前来是有什么事吗?”
张总笑眯眯的看着彭康:“星辰科技开始踏足半导体领域了?”
彭康点点头:“对,我们公司有些产品不适合用外部的芯片,所以无奈之下只能自己想办法自产了。”
华芯的张总则是笑着摇头道:“不仅如此吧彭总,尽管孟总一个字都没说,但是我们还是从上面获得了一些消息的。”
“我们此行也是上面的领导让我们来的。”
彭康舒服的往后一靠:“两位张总想表达什么?”
申城微电子的张总死死的盯着彭康:“我是为了光刻机而来。”
华芯的张总也玩笑似的开口:“彭总不厚道啊,有了自主研发的光刻胶也不说一声,我们每年进口采购可是花了不少钱的。”
彭康看向孟徽,孟徽摇摇头,表示他们没有透露过。
彭康点点头:“孟总,先安排吃完饭吧,已经到了饭点了,明天在聊吧。”
看着彭康一个字都不肯多说,两位张总皱了皱眉头,但没有说什么。
晚饭后,彭康在酒店给林大校打了电话:“林大校,华芯和申城微电子的两位张总找过来了,消息是你们透露的?”
电话里的林大校给出了否定的答案:“不是我们,可能是上面领导的意思。”
“之前不是说过有领导近期要去星辰科技视察嘛,他们肯定提前做了些调查。”
“这两家公司我知道,你也看看有没有合作的机会,这些年受限于国内的发展,他们也不容易,受了不少气。”
挂断电话后,彭康看向窗外,沉默了起来。
次日,彭康再次接待了两个公司一行人。
“彭总,今天可以给我们看点真东西吗?”
申城微电子的张总有些急切的问道。
彭康点点头,带着众人走进了实验室。
进入实验室后,一群工作人员正在电脑工作台上手指飞舞的调整参数。
而另一群工作人员则是在一台光刻机上进行激光调整、能量控制器等方面。
但是吸引两家公司相关人员的,并不是他们的操作,而是实验室里摆放的一台他们从没见过的光刻机。
“彭总,这是什么类型的光刻机?看起来不像是DUV类型的啊?”
申城微电子的张总喘着粗气问道。
彭康微微一笑。
光源可以说是光刻机的核心之一,甚至是最重要的核心0 ..
不论是近紫外激光(NUV)还是深紫外激光(DUV),又或者是此刻众人看见的这台极紫外激光(EUV)。
区别在于它们所使用的的核心光源不同。
它们都有个紫字,并非是很奇怪的事情,因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。
而星辰半导体的现在所用的稳态微聚束光源,则是来自于前段时间星辰光学部门的研究成果:全反射变焦镜头组件。
也就是说,他们眼前的这台光刻机,适配的光源是当前国际上最先进的DUV深紫外光。
“先看实验,看完我们再聊。”
彭康笑呵呵的说道,并没有回答问题。
操作了一会后,两队工作人员一起审查了一遍,这才对着隔离室外的彭康比了一个OK的手势。
彭康点点头。
随后众人发现光源设备开始运行,激光器发射出来的极紫外激光。
经过矫正后,进入能量控制器、光束成型装置等设备,再进入光掩膜台。
光掩膜台上面放的测试用的光掩膜,之后经过物镜投射到曝光台。
曝光台上放置着一张事前准备好的8英寸晶圆片,上面涂抹了光刻胶。
当看到这一步时,两家公司的来人已经彻底不淡定了。
尽管芯片不是这一会能够造出来的,但是作为业内人员的他们,看到2.6这一步就已经知道最难的部分已经过去。
剩下的按部就班执行即可。
尽管只是这样,但是这些设备的工作状态和运行效果已经是肉眼可见的好。
“彭总,你们这是EUV光刻机?”
申城微电子的张总上前一把抓住彭康的胳膊,急切的问道。
一旁华芯的张总也是喘着粗气,目光死死的等着彭康。
彭康嘴角微微翘起:“对。”
“这居然是真的,我们国家做出EUV光刻机了?”
“我不是做梦吧,连DUV都还咱们都还卡着呢?就这样领先一代了?”
“纯净度极为优秀,这是非常优秀的成品!”
身后一群人也开始了激烈的讨论.
第七十七章 华国半导体的天,亮了
原本因为彭康有些怠慢的众人此刻看着工作间里面的光刻机,嘴巴不自觉张大,眼神里透露出极度的震惊。
不同于外人的震惊,隔离室内的众人也相互欢呼雀跃。
因为这是他们第一次用自家量产的全反射变焦镜头组件做出的实验。
此前一直用的试产组件,总是会有或多或少的问题。
整个实验室和隔离室内工作间的人都震惊了。
终于拥有华国自己企业的光源设备了!
他们等这一天等了太久太久!
随行而来的一些申城微电子的老工程师不自觉摘下眼镜擦起了眼泪。
男儿有泪不轻弹,只是未到伤心处。
这其中的意义,远不是外人所能想象的。
对于他们这群投身国产半导体行业的老人们来说,这次看起来普通的实验确实他们一辈子奋斗的目标。
他们当年搞这个的时候,国内公知横行,民众缺乏信心。
“造不如买、造出垃圾来卖得又贵,又不好用。”
“国产毛病多02,你们还未必做的出来,用国外的不好吗?”
“这是又要再来一次汉芯事件吗?”
一句句往日刁钻刻薄直戳心窝的话几十年来一直在耳边回响,但是现在再看看眼前这台光刻机。
“终于有好光源了。”
“我们终于做到了!”
两个公司很多人此刻都掩面小声哭泣起来。
彭康和孟徽相视一眼,默然无语。
他们没有经历过那个年代,无法做到感同身受,但是他们依然从哭声中听出了委屈、激动和兴奋。
诚然如外人所说,国外有成熟高端的技术,只需要花钱买,就能省下很多钱和时间。
但是你可知道只要出了问题,工程师必须从国外请,他们的工钱需要国内公司结算。
从他们出门那一刻开始就要开始计算,而且这些工程师修复期间,不允许华国人在一旁观看。
态度极其傲慢。
很多时候,哪怕你想买,都得低声下气求人,别人还要翻倍似的加价。
可就哪怕这样,你也要排队,什么时候交货完全看别人心情。
这不止半导体行业,很多行业都这样。
但哪怕就是这样,国内却依然存在像彭康身后这群人一样的“傻子”,他们顶着他人的流言蜚语和怪异的目光,一点一滴小心翼翼的积攒每一分可以用的资金用来做研究,但凡产品出了一点点问题,迎来的就是铺天盖地的骂声。
虽然这些年的环境好了一些,但是对于他们来说,依然如同黑夜行军一般,看不到一点光亮的未来。
但是在今天,就在此刻,他们突然发现:天亮了!
华芯的张总此刻声音有些颤抖,他拽着彭康的衣袖,用亢奋的语气说道:
“核心部件大功率激光器,需要激光稳定可控的达到2万w以上。这种激光器的组件只有德意志和阿美莉卡可以供应。”
“再此之前我们国内在这一领域和他们差距巨大。因为限制,我们想买但是没有一家公司愿意提供相应的部件。”
“彭总,你们了不起,真的了不起!”
此刻他们并没有怀疑这件事的真假。
因为他们看得出眼前这台EUV光刻机所用的光源不同于他们所了解的任何一种光源。
这种全新的东西,别说成品,外界连论文都找不到几篇,怎么可能造假。
“各位,该看的咱们也看完了,现在咱们去会议室好好聊聊吧。”
看着身后众人情绪稍稍未定了一些,彭康笑着说道。
来到会议室后,彭康立刻示意范莺莺给众人倒茶。
过了片刻后,看着情绪已经平稳下来的众人,彭康笑着问道:“华芯和申城微电子,谁先和我谈?”
两位张总相视一眼后,华芯的张总说道:“我先来吧,我们的合作相对简单一点。”
彭康颔首:“可以,你们需要什么?”
华芯的张总开口说道:“光刻胶,园晶生产线。”
彭康点点头:“8英寸还是12英寸?”
张总愣了一下,又不淡定起来:“你们都可以生产出来?”
孟徽理所当然的点点头,开始给在场众人散发关于自家园晶厂生产的圆晶的资料。
看完资料后,张总开口问道:“彭总,你们现在可以生产多少纳米的芯片?”
彭康看了一眼孟徽:“孟总,介绍下吧。”
孟徽骄傲的点点头:“根据我们的测试来看,28nm的良品率可以做到99%,14nm的良品率可以做到97%,10nm的良品率可以做到95%。”
“7nm的目前还在小批量测试,目前还不太稳定,良品率还不好说。”
听到这话,在场众人都倍感鼓舞。
“彭总,你们可以做到生产7nm芯片了?”申城微电子的张总激动的问道。