这一次，控制室内的骚动比方才更加明显。
有人悄悄抹了把眼角，还有人用拳头轻轻捶了下桌面。
从107瓦到220瓦，不仅仅是数字的提升，更是证明他们的MCDE-EUV光源既能“点亮”，也能在更高功率下保持稳定，这意味着量产的可能性又近了一步。
功率是制约工艺节点的重要因素！
制程微缩需实现更小的线宽和间距，要求EUV光具备更高的光学对比度，而功率是对比度的核心支撑。
220瓦的稳定功率，足以满足7纳米制程的芯片生产所需。
陈延森嗯了一声，接着吩咐道：“准备晶圆台与掩模台同步测试，加载测试晶圆，按28纳米制程参数设置曝光程序。”
汪象朝马上响应：“测试晶圆已通过机械臂送入预对准工位，掩模台已加载28纳米标准电路掩模版，同步精度校准中。”
顷刻间，众人的视线重新聚焦在主监控屏上。
屏幕被分成了四个画面：左上角是光源功率与等离子体状态，右上角是光学系统的光束分布，左下角是晶圆台的实时坐标，右下角则是掩模台的运动轨迹。
随着汪象朝按下按钮，两个精密平台迅速移动，它们的运动轨迹像两条精准咬合的齿轮，每一次微调都控制在0.1纳米以内。
“同步精度0.08纳米！已达预设标准！”
汪象朝说道。
陈延森看了一眼时间，此刻是晚上8点37分，距离真空泵启动已经过去了半个多小时。
他俯下身子，对着麦克风，向实验室的工作人员叮嘱道：“曝光开始，单次曝光时间设置为0.5秒，记录所有参数。”
核心腔室的观察窗内，淡紫色的微光骤然亮了一下，旋即恢复柔和。
光路末端的探测器疯狂刷新着数据，屏幕上跳出一行行代表“曝光能量密度”、“线宽均匀度”、“图形套刻精度”的数值。
每一个数字都在朝着合格的方向靠近！
0.5秒的时间，却像一个世纪那么漫长。
当曝光完成的提示音在控制室内响起时，汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出，送往检测室。
一行人都跟了过去，连脚步都变得急促起来。
在精密的EUV掩模版检测仪下，当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时，现场彻底沸腾了。
线条细如蛛丝，却没有一丝断裂或模糊，每一个晶体管的轮廓都精准得如同复刻。
光刻机的运行原理就像印刷机，又像照相机，只不过它所运用的‘画笔’和‘画板’都更为精细。
“成了！真的成了！”
汪象朝喃喃低语，双手在发抖，嘴里发出‘呵呵呵’的笑声，压抑中带着亢奋。
不一会儿，笑声变得呜咽。
他今年五十九岁，在EUV光源领域已经摸爬滚打了大半辈子。
曾经的他，眼看着自己的人生快要走到尽头，连EUV光源的技术突破也渐渐看不到希望，心里满是无力。
可谁曾想，星源科技会在这时横空出世，不仅打破了僵局，更给华国自主研发光刻机带来了全新的希望。
如今造出了EUV光刻机和烛龙 G1051五轴联动数控机床，往后华国芯片产业和高端制造业，总算不用再看别人脸色了！
汪象朝抹了把脸，想把激动的泪水憋回去，可嘴角却控制不住地往上扬，最后索性也不掩饰，任由泪水顺着脸颊往下淌。
这眼泪里，有大半辈子的遗憾，更有苦尽甘来的畅快。
林南见状，拍了拍他的肩膀，温言劝慰道：“汪工，咱们没白等，也没白干！”
站在人群里的梁劲松一脸唏嘘，他暗暗打量着陈延森，默默给出评价：妖怪级别的天才！
要知道，世界上大部分的技术突破，都需要一代人、甚至是几代人的积累，可陈延森硬是在二线的技术栈上，拿出了行业顶尖的方案。
220瓦、分辨率小于12纳米、0.33数值孔径的光学设计，每平方厘米可容纳约800亿个晶体管，绝对可以支持10纳米和7纳米节点的EUV量产需求。
陈延森微微一笑，这台EUV光刻机便是他的新筹码。
毕竟森联资本涉足的行业越广，树敌就越多，若是拿不出像样的压箱底本事，又如何能获得上面的全力支持？
另外，一台光刻机的售价高达5000万到9000万美币，能够创造巨大的经济利益。
而且陈延森还能借此培养一批生产、安装、养护和维修的工作人员，进而获得更多的人道薪火。
不过，Alpha样机仅适用于内部测试，并不具备实际流片测试的条件，后续还得推出Beta样机，即产品发布前由外部用户进行测试的设备。
好在星源科技有自己的生产线，只需经过反复调试、修改、迭代，就能逐步推进，最终制造出符合要求的成品光刻机。
“陈老师，给它取个名字吧！”
章延杰提议道。
“黑暗已逝，破晓乍现！就叫破晓 A220吧。”
陈延森想了想说道。
A代表星源科技光刻机的第一条序列，220是它的峰值功率。
与此同时。
李青松在收到消息后，立马拿起文件，急匆匆地朝着南海旁的一座庭院赶去。
第672章 以前别人赏饭吃，现在自己做饭吃！坐上谈判桌，开始制定规则！
“破晓 A220 EUV光刻机？可支持7纳米的制程节点？”
深夜的燕京，韩锦恒捧着一份测试文档，眼中闪过一抹不可思议的神色。
尽管此前星源科技推出了烛龙 G1051五轴联动数控机床，已经在科研领域掀起了滔天巨浪，并为国产EUV光刻机的研发指了一条明路。
可他万万没想到，对方的速度竟如此之快。
李青松望着韩锦恒脸上复杂的神情，顿时就明白了自家老板的想法，于是开口解释道：
“确实快，但其实也在意料之中，EUV光刻机最难的技术点是光学系统的激发、收集和运用，剩下的以精密加工为主，烛龙 G1051恰好为这些精密核心零部件的生产提供了关键基础。”
韩锦恒微微一叹，语气里带着几分感慨：“话是这么说，可全球能把EUV光刻机造出来的企业，至今也只有阿麦斯一家，星源科技这一步，跨得比我们的想象中还要大。”
“如今枪有了，就差子弹了。”
李青松笑着说道。
在芯片制造里，光刻机就相当于打仗用的枪，而光刻胶和显影液，就是配套的子弹与粮草，缺一不可，少了哪一样都没法量化生产。
“有枪还怕没子弹吗？”
韩锦恒缓缓起身，纵声大笑道。
李青松闻言一愣，随即恍然大悟。
华国有了破晓 A220 EUV光刻机后，就等于坐上了国际半导体协会的谈判桌。
以前是别人赏饭吃，现在华国也能成为参与行业规则制定、瓜分市场“蛋糕”的行业霸主了。
“这小子喜欢什么？”
韩锦恒扭头问道。
对于陈延森，他虽然连一面都没见过，却是格外的喜爱，恨不得在对方脑门上再按几个光鲜亮丽的头衔。
陈延森喜欢什么？
李青松眉心轻蹙，认真思索着。
钱？
以陈延森的赚钱速度，星源、深蓝和拼呗就像三台永不停歇的印钞机，钞票于他而言，只会越花越多。
名？
森联资本旗下员工总数已超86万人，而陈延森本人，在海内外商圈都是大名鼎鼎的人物。
权？
这一点，陈延森倒是真没多少。
“再给他几个名誉性的虚职？”李青松模棱两可地试探道。
“燕京互联网大会哪一天举行？”韩锦恒反问道。
“8月26日。”李青松立即回答道。
毕竟他是这次大会开幕式的致辞人，秘书早就把详细行程发给他了，时间自然记得清清楚楚。
“我还是当面问他吧。”韩锦恒笑吟吟地说道。
他原本计划，等到三河古镇世界互联网大会举办的时候，再亲自和陈延森见一面。
可现在，他已经不想再等了！
与此同时。
东部大区、安国协会与沪城巡检所三方携手，再次对星源科技的安保工作进行了全面升级。
深夜十点半。
陈延森坐进一辆银蓝相间的红旗 L5上，透过车窗，瞥了一眼灯火通明的研发中心，随后摆了摆手，示意老黄开车。
晚风徐徐吹拂，一轮弦月高悬，散发着清冷的光芒。
2014年8月23日！
一个看似普通的星期六，但对科研和学术圈的一帮人来说，却是值得铭记的一天。
陈延森靠在座椅上，对着黄伯翔吩咐道：“后天下午回庐州，明早不用来接我了。”
“好的老板。”老黄点头应道。
上个星期，他收到侄女的电话，侄女告诉他，公司将她调入了储备管理学习班。
换而言之，只要愿意干，将来就算谈不上能出人头地，也绝对能保证衣食无忧。
因此，黄伯翔对陈延森的感激之情，几乎达到了顶点。
不一会儿，车子便停在了兰香湖6号别墅门前。
陈延森抬脚下车，穿过绿意盎然的庭院。
刚走到客厅门口，就看见叶秋萍身着一套黑色蕾丝女仆套裙，脸颊泛着陀红，手里还提着一双拖鞋，从屋里走了出来。
“屋里藏人了？小脸红成这样？”
陈延森站在原地没动，静静享受着叶师傅的换鞋服务。
他的视角居高临下，此刻能清晰看到一团高山白雪，在膝盖的积压下，微微改变了形状。
“我刚刚在跳健身操。”
叶秋萍低着头，灵机一动，瞎编了一个理由。
总不能告诉陈延森，自己在补课学习吧？
想到这里，她不自觉地舔了舔舌头，感觉极为僵硬。
可视频里的老师，那舌头都能翻花绳，灵活得不像话。