“说得没错，是我心态不稳了。”哈特利点点头，当即笑着附和了一句。
尽管论身份和年龄，他竟还不如李傲沉得住气，但心里却没有丝毫不适。
毕竟以李傲展现出来的超高学术水平，很难有人再把他当作二十多岁的年轻人。
哪怕他的年龄确实如此。
就这样。
很快伴随着原理验证正式开始，在众人的观察与各种诊断设备的记录下，只见主振荡激光器发出的高重复频率泵浦光，同时进入了八个微结构单元。
泵浦光照射到阵列样片后，每个单元都瞬间激发出目标强耦合杂化模。
最终叠加出一道稳定的193纳米深紫外光。
“各项数据怎么样？”
斯坦顿最先反应过来，立刻望向坐在诊断屏幕前的弗莱彻，大声询问具体数据，想知道最终结果究竟如何。
虽说包括李傲在内的其他人都没有再开口，但大家的目光无一例外集中到了弗莱彻身上，因为过度紧张，甚至有人几乎屏住了呼吸。
约摸过去将近两分钟，弗莱彻的声音终于在实验室内响起。
任谁都能听出，其中夹杂着明显的激动情绪。
“有结果了！
“八个单元全部成功激发出强耦合杂化模，并完成相位锁定。
“相干叠加后的中心波长稳定在193.0纳米。
“平均输出功率稳定在12.1瓦，相干合成效率达到92.7%。
“还有……我们在更高阶次上，同时探测到了13.5纳米的极紫外谱线！”
几乎是弗莱彻话音落下的瞬间，整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈掌声，每个人脸上都肉眼可见地浮现出发自内心的喜悦。
“成功了！”
“我们居然真的得到了稳定的193纳米相干输出，这是建立独立光源路线的一大步。”
“李教授的设想是完全正确的。”
“很难想象首次实验就出现了13.5纳米的极紫外光，原计划这可是要分两步走的。”
“这一个多月，我感觉简直就像在做梦。”
凡是抽调进联合验证计划的成员，都是这几家机构里最优秀的科研人员，对独立193纳米光源的价值无比清楚。
但就是这样一种决定着大量成熟制程扩产节奏的核心光源，一个多月前对全世界所有芯片制造加工企业来说，除了Cymer与ASML的成熟体系再无第二种选择。
全新的替代路线更是连实物都不存在。
可此刻在阿贡国家实验室里，不但诞生出了稳定的193纳米相干输出，连13.5纳米的极紫外光都一并出现了。
这意味着，制造普通芯片的深紫外光源光刻机光源用不了多久就能面世，甚至生产高端芯片的极紫外光刻机光源，也有望在进一步实验后被制造出来。
毫不夸张地讲，这项成果无论放在哪里，都是一场地震。
足以让全世界感到吃惊。
待众人的情绪逐渐平复下来，斯坦顿依旧查看着屏幕中反馈的数据，随后恋恋不舍地收回目光，才直起身体看向面前的李傲，兴奋得满脸通红。
“太让人惊喜了，用新理论得到的这道极紫外谱线，走的是一条跟现有光源体系完全不同的新路线。”
“证明这条模块化光源路线可行后，接下来我们的下一代光源研发，肯定会迎来一段飞速发展的阶段。”
“我提议立刻向几家联邦机构报告并对外公布，让所有人知道，我们已经找到了一条不受传统放电腔限制的新路线。”
“这是更新换代的新技术！”
对此，旁边的哈特利也没有保持沉默，闻言虽不愿破坏眼下的气氛，但最终还是清了清嗓子，小声跟在后面补充了一句：
“可惜193纳米的平均输出功率只稳定在12.1瓦，距离我们给首阶段工程验证定下的60瓦门槛还有差距，不过毕竟是首次原理实验，这个结果已经远远超出预期了。”
……
第472章 全世界震惊的意外成果（求订阅）
李傲对此次验证成功并不意外，就连哈特利口中的功率问题也在预料之内。
因为今天实验的核心挑战，是验证各微结构单元产生的谐波能否稳定锁相并相干叠加。
换句话说，这并不是最终的成品，而只是一个验证实验。
实验结果证明他的设想非常成功，只有确定这件事后，才有必要继续更新迭代，解决功率扩展问题。
于是还没等哈特利的遗憾情绪停留多久，他便主动开口回应，并未在这个时候故意卖关子。
“关于输出功率，可以把单模块阵列扩展成多模块矩阵。
“让各模块共享主振荡器的种子光与相位基准，同时配置独立的功率放大和泵浦通道，再对多路193纳米输出进行二级相干合成。
“按当前单模块12.1瓦的结果计算，采用至少六个模块，扣除合成损耗后，应该能达到60瓦的标准。”
随着李傲的话音落下，哈特利先是沉思，约摸过去一分多钟，突然像是想到了什么，猛地抬起头，脸上浮现出欣喜表情。
“好办法！让多个转换模块共用相位基准，再做二级相干合成，这样一来，稳定输出功率肯定会成倍提升。
“达到首阶段的60瓦门槛，也就不是问题。”
他对这次原理验证的结果无疑感到非常高兴，既证明了李傲提出的设想可行，又让大家一个多月来的努力没有白费。
但碍于半导体产业正遭遇的困境，他太想尽快解决眼下的局面。
所以他才会对稳定193纳米输出的功率感到遗憾。
毕竟此次实验功率只有首阶段工程验证门槛的五分之一左右，要让它继续增长，显然还要投入大量时间研究。
相当于又延长了独立深紫外光源工程样机的研发周期。
但他万万没有想到，自己担忧的问题在李傲口中竟显得如此简单。
仿佛随时就能解决。
关键是他在脑海中研判之后，确定这套扩展思路的可行性很高。
若采用李傲的方法，就算第一次达不到60瓦，也绝对会比现在的输出高出许多。
这无疑又是一个巨大的惊喜。
快速回过神来，他有些控制不住情绪，下一秒便主动向李傲询问确认。
“李教授，你是不是早就想过多模块功率扩展的问题了？”
主要从得到验证数据到李傲给出解决方案，前后连两分钟都不到，实在让人无法相信这是临时想出的功率扩展方法。
而哈特利的这句话，也成功引起了现场其他人的好奇。
众人的视线纷纷凝聚过来。
连斯坦顿也笑着附和道：“现在啊，我从李教授嘴里听到什么都不会觉得奇怪。”
阿贡国家实验室的光子学团队围着短波光源转了这么多年，都没能找到的突破口，在李傲这里只用一个多月便完成首轮验证，让他不免生出一种以前在白白浪费时间和经费的羞愧感。
若早让李傲介入这项研究，恐怕模块化相干短波光源早已有了实物，没准光刻机都做出下一代了。
整个半导体产业也不至于像现在这么受制于人。
李傲听完两人的话，又迎上大家的目光，嘴角浮现出淡淡笑容，如实回答。
“我确实考虑过功率扩展问题，只是多模块矩阵的同步与二级相干合成难度会高出不少。
“为了尽快验证核心理论设想，首轮实验才暂时把功率目标放在了后面。”
“有你这句话，我就放心多了。”哈特利脸上堆满笑容，连连回答。
既然这种方法早就在李傲的计划中，说明已经经过比较周密严谨的推导论证，如此成功率便有了保障，必然能够大幅提升稳定输出功率。
当模块化相干短波光源最核心的原理被成功验证，功率又能继续扩展，那么后续几个工程阶段的推进效率也会提高许多。
想到用不了多久，首台60瓦级的相干短波光源样机就能问世。
他的心情可想而知。
“说实话，我从来没有想过这条新光源路线的实验项目能进展得如此顺利。看来阿布里科索夫教授和霍尔德伦主任对李教授的了解，远比我们深入得多啊！
“幸亏霍尔德伦主任力排众议推举李教授担任这个项目总架构师，否则研发进度肯定不会像现在这么快。”
哈特利听到斯坦顿的感慨，当即再次接过话茬附和道。
李傲听了两位负责人的轮番称赞后，只好战术性地轻咳两声，让大家停止这个话题的讨论，接着重新把交流内容转到正事上。
“现在我们才刚看到极紫外的谱线。想要赶在ASML之前，沿着这条路线做出7纳米工艺的极紫外光刻机整机，还需解决不少问题。”
几乎是这番话从口中讲出的瞬间，面前的斯坦顿与哈特利顿时神情一怔，下意识轻声低喃。
“比ASML更先做出来极紫外光刻机吗？”
“我们真能直接造出7纳米工艺的极紫外光刻机么？”
哪怕后面的弗莱彻等研究人员，眼中都闪出精光，毫不掩饰地流露出向往之色。
作为光刻领域的科研人员，他们对ASML的大名自然如雷贯耳。
它代表着当今人类光刻机技术的巅峰。
早在前段时间，ASML就曾表示，正在研发新一代光刻系统。
而且已经把目标定在了7纳米甚至5纳米的工艺上。
如果真能赶在ASML前边，率先造出拥有下一代光源的极紫外光刻机，那么便代表他们拥有的技术，已经从单纯依赖别人变成了世界领先。
尤其他们采用的相干短波方式，要比原有的准分子方式光源更容易得到短波波长，寿命也更长。
对在场所有人来说，提起光刻机，脑海中浮现的只有那些还停在实验室里的旧样机。
甚至连这一代的深紫外193纳米光刻机还没有做出来。
很难想象一步跨到下一代13.5纳米的极紫外光刻机整机，会是一种怎样的体验。
众人像是打了鸡血，亢奋得不行。
“不试试，怎么能知道到底行不行。”李傲笑着说出这句话作为回答。
立刻便得到了大家的认可。
“李教授说得没错，荷兰人能做，我们凭什么做不出来？”
“要是真能看到我们做出下一代的极紫外光刻机，我这个年纪也算没有遗憾了。”
“不行，我忍不住了，咱们现在就开始吧，我都想直接住在实验室了。”
就这样。
接下来的时间，众人又继续借助原理装置进行实验，尽可能多地采集光源的各项数据。
为下一次多模块功率扩展实验作准备。
另外值得一提的是，李傲也没有食言，第一时间把实验结果告诉了纳米材料中心的兰德尔博士，并提到制备高密度阵列与多模块配套样片的新任务。
对此兰德尔无比高兴，当即保证会尽快完成。
而针对首次获得稳定193纳米输出并探测到极紫外谱线的结果，在向能源部和白宫方面通报后，各方经过商议，决定向外界公布首轮原理验证成果。