如今,这项理论除了展现出巨大的学术影响力,又显现出推动下一代光刻机核心光源系统变革的潜力。
无论从哪个角度看,李傲都有资格获得诺贝尔物理学奖。
特别是最近几年,放眼整个物理领域,几乎找不到影响力能够与这项强耦合模型相提并论的突破。
不过话一出口,两人又同时叹了口气,发自内心地为李傲惋惜。
如果李傲仍像过去一样,只是一名专注数学和物理研究的纯粹学者,那么凭借强耦合模型的影响力以及他在学界的地位,获得诺贝尔物理学奖的概率将会极大。
若最终获奖,他还有望在成为史上最年轻菲尔兹奖得主之后,再度刷新诺贝尔物理学奖的最年轻获奖纪录。
但现在,李傲担任了下一代光刻机项目总架构师,正与欧洲供应商进行一场关乎未来产业格局的竞争。
在这种情况下,想拿到欧洲人评选的诺贝尔物理学奖,自然会遇到非常大的阻力。
哪怕诺贝尔奖的评奖委员会在世界上号称绝对中立。
只能说最终结果如何,暂时谁也没法判断。
两人都知道,这种涉及评奖政治的猜测不宜说得太深,便没有继续讨论,只是站在人类文明发展的角度,为这样一位顶级物理天才可能得不到应有荣誉而深感遗憾。
李傲并不知道,远在大洋彼岸的学术界,还有人在为他能不能拿到诺贝尔物理学奖感慨。
经过几天研究,他初步完成了新一代计算光刻平台的设计方案。
方案包括新的相干成像物理模型,以及面向高维非凸优化问题的分层求解算法。
这些构想让原本复杂的问题在统一的数学框架下变得清晰可解。
整体而言,他把目标版图经照明、掩模和工艺过程转移到晶圆上的全过程,视作一个巨大的信息编码、传输与解码系统。
目标版图是待传递的信息,联合优化后的照明与掩模相当于编码后的信号,光刻成像链则是一条带噪声的信道,最终形成的晶圆图形就是解码后的输出。
他的目标,是为这条信道建立一套近乎终极的编解码方案。
借助算法将照明、掩模与工艺修正融为一体,在设计之初便同步考虑物理限制和制造工艺,使设计结果直接具备可制造性,并从源头最大限度压低成像误差和随机缺陷的发生概率。
可以说按照这套方案推进,项目有很大概率在两年内完成平台开发,并让独立计算光刻技术跻身全球领先行列。
就在初步方案完成后,首场项目启动会正式在新思科技会议室召开。
……
第476章 再也不会有超越李教授的天才了(求订阅)
“经下一代光刻机专项执行委员会审议,并报白宫批准,即日起正式启动新一代相干光源计算光刻平台开发工程。
“由专项执行委员会总架构师李傲担任技术路径、研发方案与资源调配的最终决策人。”
8月14日,周五,新思科技公司。
总部大楼高层会议室内,项目办公室工作人员在会议开始前宣布了会场的保密要求。
现场出席人员除总架构师李傲外,还包括同为专项执行委员会成员的霍尔德伦主任、相关领域资深专家、新思科技首席技术官罗伯特·海斯,以及其下属的计算光刻架构工程师伊森·布鲁克斯等少数核心人员。
除此之外,商务部也派了代表出席。
计算光刻是下一代独立光刻技术体系中不可或缺的重要环节,项目优先级与相干短波光源基本相同,也是整个下一代光刻机专项的核心子项目之一。
不多时,项目启动会正式开始。海斯作完开幕致辞后,率先发言:
“针对李教授提出的‘开发一套能够描述新一代相干光源物理效应的计算光刻工具’这一构想,我们新思拿出了一份初步方案。”
话落。
他的目光径直看向布鲁克斯,微笑着示意道:“伊森,你来给大家报告吧。”
“好的,海斯先生。”
不管怎么说,新思都是该领域的龙头,在这种重大战略项目上,肯定要有所展示才行。
若拿不出任何实质内容,可就显得这行业龙头的名头太水了点。
所以他才安排布鲁克斯制定了初步方案,准备在项目启动会上进行汇报。
好歹公司在此领域深耕多年,倒也不至于说方案会丝毫拿不出手。
此时的布鲁克斯,肉眼可见地紧张。
准备时间实在太短,方案难免存在疏漏。
再加上现场坐着多位资深专家,他承受的压力可想而知。
最终,在众人的注视下,他强行平复情绪,起身开始汇报。
布鲁克斯汇报时,李傲也在心里将这份方案与自己的思路逐项对照。
过去几天,他经过高强度推导,已经建立起一套全新的相干光与物质相互作用模型。
他还从微观粒子动力学、量子效应和场论方程出发,导出简化模型的近似解析表达式,能够从理论上预测若干尚未被实验观察到的缺陷模式,进而大幅提高仿真精度。
此外,他还提出了一种新的算法框架,可以大幅缩短掩模OPC(光学邻近效应校正)的计算时间。
原本在今天的启动会上,李傲就计划直接拿出方案,当着霍尔德伦等人的面将其正式敲定,以便尽快投入后续开发。
毕竟在他的计划里,只有两年时间。
只是没想到新思方面也准备了方案,他便索性先听一听,看看其中是否有什么可取之处。
然而半个小时很快过去,他的眉头却微微皱起。
虽然能看出布鲁克斯确实是一位优秀的工程师,但其提出的方案并不适配正在研发的相干短波光源路线。
“以上就是我的全部报告,谢谢大家。”
布鲁克斯在阐述完最后的畅想后,整个人终于长长松了一口气,紧接着急忙坐回位置上。
霍尔德伦与身旁几位专家互相看了眼,并未直接给出评价,反倒主动将话语权交到了李傲手中。
“Leo。
“你是总架构师,来说说吧。”
除了因为李傲是项目总架构师、其他人不好喧宾夺主外,霍尔德伦也想看看李傲这边是否还有新的惊喜。
与哈特利、斯坦顿两位负责人不同,他在得知李傲要亲自负责计算光刻工具的开发时,第一反应是欣喜,暗想李傲是否在芯片制造软件上也取得了突破性进展。
主要是因为他深知李傲的真实水准。
能单凭几套算法,就让Waymo刚起步的城市运营平台,调度效率远超Uber经营多年的网络;
能为NASA的救援任务,重构出完美的全自主交会对接架构——
其在算法与软件领域的造诣,显然绝非一纸计算机系学位所能概括。
如果猜得没错,李傲在计算机领域的水准,恐怕丝毫不逊色于数学和物理。
年仅二十多岁,便在三门顶尖学科中都取得了重大成果。若让外界得知,指不定会掀起怎样的疯狂。
这早已脱离了寻常天才的范畴。
同时,也恰恰证明,他推举李傲担任总架构师是多么明智的决定。
李傲微微颔首,没有绕弯子,直接给出了判断:
“布鲁克斯先生,你们的物理模型,是错的。”
几乎在这句话落下的同时,现场许多人的表情都变了,尤其是以布鲁克斯为首的新思计算光刻架构工程师。
他们熬了几个通宵才拿出的项目方案,此刻却被当面判定为错误。
这两个字几乎等于直接将整套方案打成废案,不可能再照原样投入使用。
尽管他们十分佩服这位年轻的总架构师,也认可他的学术水平和诸多贡献,可身处自己最擅长的领域,难免仍有几分不服。
然而一想到李傲刚刚凭借自己提出的强耦合物理模型,攻克了稳定相干短波光源的原理难题,那股不服的气焰顿时泄了大半。
海斯则转头确认道:“你是说,我们的模型从根本上就错了?”
李傲没有立刻回答,而是起身走到旁边的白板前,随手画出一幅能级图,随后面向众人继续阐述:
“你们的物理模型,应该是基于ASML和欧洲微电子研究中心(imec)的公开成果搭建的吧?
“问题在于,你们为了压缩计算量,把极紫外曝光后的多级反应链等效成了单一平均响应。
“极紫外光子被光刻胶吸收后,不只是引发化学键断裂,还会产生高能光电子和次级电子,并继续触发电离、激发、电子附着、解离以及后续的自由基反应。
“如果沿用这种物理模型,我们就无法正确描述有限光子计数,也没法推导电子级联和材料组分涨落共同造成的随机缺陷概率分布。”
说到这里,李傲暂停了数秒,在留给其他人消化的同时,也在观察大家的反应。
包括布鲁克斯在内的几位架构工程师,神情迅速严肃起来。
他们当然知道这些微观过程存在,却直到李傲指出后才意识到,自己为了赶进度所采用的等效处理,恰恰会在高精度仿真中掩盖随机缺陷的形成机制。
布鲁克斯脸上不由浮出几分惭愧。
而霍尔德伦则隐隐透着兴奋,尤其是听到李傲接下来的这句话后,嘴角已然不再有意去控制笑容。
“其实针对新一代计算光刻平台的开发,我也已经设计好了一份方案。”
“果然有惊喜——”霍尔德伦闻言暗自低喃了一声,连忙催促道:“快详细和大家说说!”
到了这个时候,李傲哪里还会卖关子,索性趁着机会详细汇报方案内容。
“我从量子场论出发,向下耦合光子吸收、电子输运和光刻胶反应动力学,建立了新的相干光—物质作用模型。
“它的核心结构不依赖海量实验数据拟合,只需要针对具体光刻胶标定材料参数。
“同时,我还在理论上预测出了几种尚未被实验观察到的缺陷模式。
“等验证实验完成后,应该能在相应参数区间观察到这些缺陷信号。
“另外,单有物理模型还不够。传统傅里叶光学和现有优化框架主要处理平均成像结果,若要预测稀有随机缺陷,仅靠这种确定性近似远远不够。
“所以数学工具也得推陈出新,把光刻成像链视作带噪声的信道,重建缺陷的随机几何,再搭配一套面向高维非凸问题的分层求解算法。
“这套算法的数学框架还需要完成严格证明。一旦证明成立,在我给定的结构条件和制造约束内,它就有望找到目标函数的全局最优解,并把掩模OPC的计算耗时从周级直接压缩到小时级。”
李傲的汇报虽然比布鲁克斯更长,却始终牢牢吸引着在场所有人的注意。
随着讲解深入,众人越来越震撼。
所有人都能看出,他不是在简单应用现有数学,而是在尝试开创新的数学工具!
可以说,他把数学、物理以及计算机这三门顶尖学科理论完美结合到了一起。
最关键的是,现场没有任何人敢轻率否定这条路线的可行性。
毕竟在数学领域,不论是现代分析还是代数几何,李傲都已经不止一次地创造了新的数学工具。
其中布鲁克斯更是面色潮红,呼吸急促。
他万万没想到,李傲竟在计算光刻开发上有着如此惊人的造诣和成熟的算法经验。
他甚至感觉自己正在听一场项目功成告捷的总结会,而非启动会。
毫不夸张地说,从李傲的报告中,他看到了新思科技在下一代计算光刻路线中建立绝对领先优势,成为垄断型企业的历史性契机。
而这,正是他作为首席技术官最大的梦想。
“李教授原来对计算光刻算法工具,有着这么深的研究。
“难怪——