这里是整个车间里自动化程度最高的区域，抛光盘上方的机械臂以恒定压力将玻璃片压在特制抛光垫上，整个过程无需人工干预。
施泰纳让操作员取出一片已经完成抛光的玻璃基板，放在检验台上让陆怀民观看。
在特制的平行光源下，玻璃表面犹如一面绝对静止的镜子，见不到一丝波纹和划痕。
“任何一片比头发丝直径小百倍的灰尘颗粒，落在玻璃表面，都会在光栅刻线时形成一个致命的缺陷点。”施泰纳说道：
“因此，抛光后的基板清洁度，是我们所有工序里要求最高的部分。这里的空气经过三级过滤，再加上离子风静电消除系统，可以说，这片玻璃从抛光机里出来的那一刻，它接触到的空气里几乎没有比分子再大的颗粒了。”
陆怀民内心微微一动。这还只是量产线。
他知道，到了研发区，洁净等级只会更高。
但真正值得玩味的，是施泰纳的措辞。
他越来越觉得，这次参观并非普通的接待。
施泰纳似乎在利用每一个展示节点，有意无意地放出一些“技术钩子”，试探他对光栅尺工艺细节的理解。
如果陆怀民是一个普通博士生，此刻多半已经露出了崇拜的表情。
海德汉难道是想用技术折服他吗，方便之后的合作？
还是说希望自己无意中提出一些有见地性的观点，他们能从中得到一些启发？
陆怀民保持着微笑，用德语不卑不亢地回应：“海德汉的精密制造，确实让人敬佩。”
施泰纳问道：
“那我们继续往前？下一站是镀铬工段。”
“好的，施泰纳先生。请。”
穿过一段装有淋风系统的走廊，一行人来到镀铬工段。
这里的洁净等级比前段略低，但同样是黄线分区的正压洁净室。
“我们对铬层厚度均匀性的控制，目前可以达到正负三纳米。”施泰纳指着观察窗内的设备说道，“全表面范围内的膜厚极差不超过六纳米。这个指标，我们保持了八年，没有任何竞争对手做到过。”
“确实非常了不起。”陆怀民点点头，仔细观察着里面的设备，问道：
“贵司的蒸镀设备，是蔡司定制的吗？”
“不完全是。”施泰纳笑了笑，似乎对这个问题有些意外：
“真空腔体是我们自己设计的，蒸发源和膜厚监控系统来自莱宝和蔡司。怎么，路博士对蒸镀设备有研究？”
“对设备谈不上了研究。”陆怀民摆了摆手：
“不过以前读文献的时候，见过贵司几篇关于Diadur工艺的公开论文，里面提到镀铬层和光刻胶之间的附着力问题。我判断贵司在镀铬工段增加了一道低温退火工序，这在目前的公开资料里很少被提及。”
施泰纳和贝格曼对视了一眼，表情都有些微妙的变化。
低温退火这道工序，确实是Diadur工艺中一个不为人知的细节。
它不在任何公开的专利文献中，更没有发表过论文。
海德汉内部也只有在核心工艺文件中才会涉及。
陆怀民居然能通过公开论文推断出这道工序的存在，这种能力让施泰纳暗暗惊讶。
这位来自中国的博士生，确实实力惊人。
看来那个卖出三百万马克的专利，绝非是偶然。
“路博士对工艺细节的观察力让人佩服。”施泰纳不想再纠缠这个话题，做了个请的手势：
“请随我来，接下来是曝光和刻蚀工段，那里是本产线最核心的区域。”
? 第268章 十年先知
贝格曼在前面引路，把众人领进了曝光与刻蚀工段区域。
而施泰纳则特意落后半步，与陆怀民并肩而行。
“路博士，您刚才提到镀铬工段的低温退火，是从我们哪篇公开论文里读到的？”施泰纳的语气漫不经心，像在闲谈。
“贵司一九七九年在《精密工程》上发过一篇关于Diadur工艺的综述，第三页有一张镀层界面的扫描电镜照片。”陆怀民说：
“那张照片上的铬层晶粒形貌与常规蒸镀工艺不同，晶界排列更整齐，更像是经历了一次低温应力释放。”
施泰纳的脚步顿了一下。
“就凭一张电镜照片？”
“还有你们在工艺参数表里标了一个‘稳定化处理’，但后面没有展开。”陆怀民笑了笑，“所以我猜是退火。当然，只是猜测。”
施泰纳惊诧地看了他一眼，没有再问。
说话间，众人进了曝光与刻蚀工段。
这里的整个工段被巨大的玻璃幕墙分隔成更小的操作间。
每个操作间里都有工程师在埋头作业，隔着玻璃几乎听不见任何声音。
“这里就是我们光栅尺生产中最核心的环节。”施泰纳收拢心神，恢复了介绍的节奏，指向最近的一个操作间，介绍道：
“光栅尺的精度很大程度就是在这个环节决定的。基本思路是用紫外曝光灯配合高精度折反式光路，把母版上的栅线图案一比一地转移到铬层表面，再通过控时蚀刻把多余的铬去掉。”
顿了顿，他骄傲地补充道：
“目前我们的公差控制已经达到了纳米级。”
“前面是母版刻划区。”施泰纳继续在前面引路：
“我们目前一共有三台母版刻划机。其中一台六十年代从蔡司购入，剩下两台，都是我们自己设计的。”
众人穿过母版刻划区，又参观了光刻复制、显影、定级等几个工段，边走边讲。
每到一处，他都故意抛出几个专业细节来问陆怀民。
陆怀民听得多，说得极少，只就公开的文献内容做了一点常识性回应。
但却频频让施泰纳刮目相看。
一行人从量产线出来时，已是上午十一点。
“路博士，奥斯特教授，两位下午有什么安排吗？”施泰纳站在连廊口，忽然问了一句。
“我们听从贵方安排。”奥斯特教授说。
“那么，下午一点半，我带两位去东区。”施泰纳笑了笑：
“那里是海德汉的下一代产品研发区。按照公司惯例，研发区不接待任何外部人员，包括合作伙伴在内。不过，海德汉博士特别交代，路博士和奥斯特教授可以破例一次。”
“感谢贵公司的信任。”陆怀民不动声色地道了谢。
施泰纳没有再多说，做了个请的手势，带着两人往餐厅走。
午餐安排在公司内部的贵宾室。
海德汉方面出席的人不多，恩斯特·海德汉、施泰纳、贝格曼，加上奥斯特教授与陆怀民，一共五个人。
席间，恩斯特·海德汉很少谈及技术，反而问了陆怀民一些关于中国机械工业现状的事。
问的问题都比较宽泛，属于客套性的关心。
陆怀民也如实回答：
中国机床行业基础薄弱，正在学习消化国外先进技术；中国政府重视工业升级，开始大规模培养数控领域的人才。
恩斯特·海德汉听了微微点头：“路博士能在这种基础情况下脱颖而出，更让人佩服。”
午宴结束后，略作休息，一行人驱车前往东区。
东区研发区与主厂区隔了一条马路，从外面看，只是一片围墙围起来的灰色建筑，铁门上方没有任何标志。
车子停在门口，施泰纳先下车，与门口执勤的警卫低声交流了几句。
警卫查验了来客证件，又打了一个电话进行确认，铁门才缓缓打开。
“研发区的安全级别与主厂区完全不同。”施泰纳回到车上，解释道：
“这里的每一位进入人员，都需要进行身份备案。”
车子驶入园区后，缓慢地停在一栋四层建筑前。
进楼后先是一间封闭的缓冲间，地面铺着蓝色粘尘垫。
工作人员给每人发了一套新的防静电服、鞋套、头套，又逐一登记签名。
“进入研发区之后，请不要触碰任何设备，不要与实验人员交谈。”工作人员例行公事地交代注意事项：
“所有携带物品请留在门外的储物柜里。”
陆怀民把随身书包寄存好，套上防静电服，跟着施泰纳穿过一道又一道气闸门。
当最后一道门打开时，陆怀民脚步微微一顿，显然也是被震动到了。
这是一个完全封闭的光学实验室。空间极大，足有大半个足球场。
但最令人震撼的不是空间，而是极致的安静，整个实验室几乎听不到任何声音。
“这里是我们海德汉真正的心脏。”施泰纳介绍道：
“我们最先进的光栅尺，全都诞生在这里。而你们现在所看到的，只是外面一圈。”
陆怀民微微颔首。这绝对是他重生以后见过的最先进的实验室。
“请随我来。”施泰纳低声说了一句，向斜前方走去。
施泰纳领着两人穿过一道风幕，被带进了一间标着“O-23”的实验室。
隔着玻璃观察窗，里面是一套正在运转中的光栅尺标定系统。
系统由一条长约三米的气浮导轨、一个黄铜座体的激光干涉仪、一套极其精密的温度传感器阵列，以及，一组正在接受测试的光栅尺样机，共同组成。
“你们看。”施泰纳说，“这就是我们还在研发的下一代旗舰产品的原型。它将是下一代高端数控机床的核心反馈器件。”
顿了顿，他加重语气道：“也是海德汉未来十年在超精密测量领域的旗舰产品。”
陆怀民和奥斯特教授都走近了些。
奥斯特教授是老行家，一看到那根尺子的结构，眉头便不自觉地挑了挑，显然是被上面的刻线排列方式吸引住了。
陆怀民则站得稍后一点，不露声色。
这时，一直跟在身后的克劳斯·贝格曼走上前来，他是这个项目的核心研发者，自然由他来介绍这个产品。
“路博士，奥斯特教授，请看这里。”贝格曼小心翼翼地将一支照明笔对准光栅尺表面，用光线将刻线区域勾勒出来：
“这个原型采用了一种全新的刻线结构。传统的方式是等间距刻线，而它则是对光栅刻线的空间相位进行了非均匀调制。简单说，就是每一组刻线的疏密分布，都经过了精确计算和匹配，用来补偿细分误差的高阶分量。”
他顿了顿，继续介绍道：
“大家都知道，在光栅尺领域，等间距刻线的概念已经存在了几十年，从没有人想过要打破这个最基本的假设。海德汉花了整整六年时间，才把这项核心技术推进到今天这一步。两位也是目前这间实验室里，第一批外部访客。”
贝格曼解释说：
“就在今年二月九日，我们已经就这项技术向美国专利商标局提交了完整的专利申请。换句话说，这项技术现在已经处于受法律保护的状态，所以公司内部才决定，可以向一些最重要的合作伙伴开放，以展示我们的技术方向和储备。”
他说完，看向施泰纳。施泰纳笑了笑，补充道：